Penjelasan Evaporator Film Tipis:Cara Kerja dan Penerapannya
Evaporator film tipis adalah mesin yang digunakan untuk membuat film tipis. Dengan menguapkan atau menyublimkan berbagai elemen, evaporator film tipis dapat menyimpan lapisan atom atau molekul yang sangat tipis ke dalam bahan substrat. Mesin ini terdiri dari ruang vakum, elemen pemanas, dan peralatan yang menahan dan menggerakkan substrat sementara lapisan tipis diendapkan ke dalamnya.
Ada dua jenis evaporasi utama yang dapat digunakan untuk membuat film tipis. Ini adalah penguapan resistif dan penguapan berkas elektron. Dalam kedua teknik ini, bahan target dipanaskan dalam evaporator film tipis hingga bahan tersebut menguap atau menyublim. Sebagai gas, bahan target bergerak melalui ruang vakum hingga mendarat di substrat dan membentuk lapisan tipis. Kedua teknik ini mensyaratkan bahan target stabil seperti gas.
Dalam penguapan resistif, arus listrik dilewatkan melalui bahan target, yang menjadi panas saat diberi energi. Dengan panas yang cukup, bahan target menguap atau menyublim. Emas dan aluminium merupakan bahan target umum yang dapat diuapkan dalam bentuk kawat logam, yang disebut filamen. Bahan target berupa filamen sulit dimasukkan ke dalam evaporator dan hanya dapat dikerjakan dalam jumlah kecil. Evaporator film tipis juga dapat menggunakan lembaran tipis bahan target, yang seringkali lebih mudah digunakan dan menghasilkan lebih banyak materi saat diuapkan.
Beberapa bahan target tidak cocok untuk evaporasi resistif karena bahan tersebut dapat melepaskan sebagian besar bahan padat selama proses berlangsung. Jika padatan ini bertabrakan dengan lapisan tipis yang terbentuk pada substrat, maka dapat merusaknya. Menguapkan bahan-bahan ini memerlukan penggunaan sumber pemanas tertutup yang memungkinkan bentuk gas dari bahan tersebut keluar melalui lubang-lubang kecil sambil memerangkap bagian-bagian bahan padat di dalam ruang pemanas.
Penguapan berkas elektron memanaskan material target dengan mengarahkan berkas elektron berenergi tinggi ke material tersebut. Dalam jenis evaporator film tipis ini, bahan target disimpan dalam tungku yang didinginkan sementara bahan tersebut dibombardir dengan elektron dan dipanaskan. Proses ini berguna untuk material target dengan suhu penguapan yang sangat tinggi karena pancaran energi yang terfokus dapat memanaskan material target tanpa memanaskan seluruh peralatan. Wadah yang menampung bahan sasaran tidak terkena panas yang ekstrim, sehingga tidak meleleh atau menguap selama proses berlangsung. Evaporasi film tipis jenis ini memerlukan peralatan khusus dan biayanya cukup mahal.
Tentang Mekanika didedikasikan untuk memberikan informasi yang akurat dan dapat dipercaya. Kami dengan hati-hati memilih sumber yang memiliki reputasi baik dan menerapkan proses pemeriksaan fakta yang ketat untuk mempertahankan standar tertinggi. Untuk mempelajari lebih lanjut tentang komitmen kami terhadap akurasi, baca proses editorial kami.
