Target Tungsten Kemurnian Tinggi untuk Chip Semikonduktor

Sejauh menyangkut chip semikonduktor panas saat ini, film tungsten oksida baru dapat berfungsi sebagai penghalang difusi, lapisan perekat, dan elektroda memori sirkuit terpadu skala besar, dll. ., yang secara signifikan dapat meningkatkan kualitas keseluruhan produk chip.

Bagaimana target tungsten dengan kemurnian tinggi menghasilkan film tungsten oksida? Sputtering adalah salah satu teknik utama untuk mempersiapkan bahan film tipis tungsten oksida. Ini membombardir target tungsten dengan ion berkecepatan tinggi, dan atom yang dihasilkan dipancarkan dan terakumulasi di permukaan substrat untuk membentuk lapisan. Film tungsten oksida yang dihasilkan oleh metode deposisi sputtering target memiliki keunggulan kepadatan tinggi, adhesi yang baik, dan ketahanan korosi yang baik, sehingga cocok untuk digunakan dalam chip semikonduktor.

Bagaimana cara membuat target tungsten?

Pertama-tama, serbuk tungsten dimasukkan ke dalam selubung dan dievakuasi, dan bubuk tungsten dalam selubung dipadatkan untuk pertama kalinya dengan proses pengepresan isostatik dingin untuk membentuk target tungsten kosong pertama. Setelah perlakuan densifikasi pertama, selubung dilepas, dan blanko target tungsten pertama dikenai perlakuan densifikasi kedua menggunakan proses sintering induksi untuk membentuk blanko target tungsten kedua. Setelah perlakuan densifikasi kedua, blanko target tungsten kedua dikenai perlakuan densifikasi ketiga menggunakan proses pengepresan isostatik panas untuk membentuk target tungsten.

Target tungsten yang dihasilkan oleh metode ini memiliki karakteristik kepadatan tinggi, kandungan pengotor rendah, stabilitas mekanik yang kuat, keseragaman struktur internal yang baik, dan ukuran butir kristal yang besar, yang dapat lebih baik memenuhi persyaratan proses sputtering modern.

Kesimpulan 

Terima kasih telah membaca artikel kami dan kami harap artikel ini dapat membantu Anda untuk lebih memahami target tungsten dengan kemurnian tinggi. Jika Anda ingin mempelajari lebih lanjut tentang tungsten logam tahan api, kami menyarankan Anda untuk mengunjungi Logam Tahan Api Lanjutan (ARM) untuk informasi lebih lanjut.

Berkantor pusat di Lake Forest, California, AS, Advanced Refractory Metals (ARM)  adalah produsen &pemasok logam &paduan tahan api terkemuka di seluruh dunia. Ini memberi pelanggan logam &paduan tahan api berkualitas tinggi seperti niobium ,  molibdenum, tantalum, renium , tungsten, titanium,  dan  zirkonium dengan harga yang sangat kompetitif.