Plastik Berkinerja Tinggi: Bahan Esensial untuk Fabrikasi Semikonduktor Modern

Plastik berkinerja tinggi tak tergantikan dalam manufaktur semikonduktor, di mana presisi dan kontrol kontaminasi adalah prioritas utama. Proses pabrikasi dimulai dengan wafers silikon dan fasilitas terintegrasi sepenuhnya—biasa disebut fab—yang konstruksinya dapat mencapai miliaran dolar. Di tengah setiap fab terletak ruang bersih.

Debu dikontrol dengan hati-hati; debu terkecil dapat merusak IC. Fasilitas diredam getaran, dan suhu serta kelembaban diatur ketat untuk menekan static discharge.

Integrated circuits diproduksi melalui serangkaian langkah—photolithography, etching, cleaning, thin-film deposition, dan polishing—yang membutuhkan sekitar 270 kimia dan gas¹. Banyak dari substansi ini, seperti asam nitrat, asam klorida dan asam hidrofluorida, dan ozon, sangat korosif. Logam dapat tawar, menghasilkan tingkat partikel yang tidak dapat diterima dan menyebabkan kegagalan peralatan. Plastik berkinerja tinggi, namun, unggul di lingkungan yang menakutkan ini.

Sepuluh kriteria performa teratas untuk plastik berkinerja tinggi dalam pabrikasi semikonduktor:

1. Resistensi kimia ekseptional untuk mencegah korosi.
2. Generasi partikel minimal untuk yield yang lebih tinggi.
3. Outgassing dan serapan kelembaban rendah di kondisi vakum.
4. Kemampuan suhu tinggi yang unggul.
5. Isolasi listrik yang baik dengan konstanta dielektrik rendah.
6. Stabilitas dimensi dan resistensi crep untuk masa pakai yang panjang.
7. Konten ion logam rendah untuk menjaga ekstraktif minimal dalam kimia tingkat kemurnian tinggi.
8. Kemudahan pemesinan yang baik.
9. Ketahanan api.
10. Konduktivitas termal rendah.

Bagaimana plastik ini diterapkan: Peralatan semikonduktor mencakup rentang luas, namun plastik berkinerja tinggi paling kritis dalam sistem wet-bench. Bench ini melakukan asam etching, riset, dan pengeringan—proses yang menuntut kemurnian maksimum dan mencegah carry-over kimia atau kontaminasi wafers selama pengeringan.

Tonton video YouTube ini dari wet bench dalam aksi!
[Video Link]

Plastik berkinerja tinggi umum yang digunakan dalam komponen wet-bench meliputi: PVDF (poly-vinylidene fluoride), PP² (polypropylene), PTFE (polytetrafluoroethylene), FEP (fluorinated ethylene propylene), PFA (perfluoroalkoxy), CPVC (chlorinated polyvinyl chloride), ECTFE (ethylene chlorotrifluoroethylene), dan PCTFE (polychlorotrifluoroethylene).

Material ini membentuk tangki, fitting, baut, gasget, spasi, housing, tikas wafers, pegangan, sarang, lembar, selang, dan pompa. Resistensi kimia dan daya tahan mereka menjadikan mereka tak tergantikan untuk menjaga integritas proses.

Tanpa plastik berkinerja tinggi, komputer pribadi, smartphone, dan TV layar datar yang mendefinisikan era informasi akan terpikirkan.

____________________________

¹ Menurut HANDBOOK OF CHEMICALS AND GASES FOR THE SEMICONDUCTOR INDUSTRY yang diterbitkan oleh Wiley.

² Homopolymer.

Kembali segera untuk lanjutan yang berfokus khusus pada plastik berkinerja tinggi yang digunakan dalam industri semikonduktor dan mencakup data properti detail!

Mencari informasi lebih lanjut tentang resistensi kimia dalam plastik berkinerja tinggi? Lihat Panduan Material kami!