Kelengkapan Segel Wajah Kemurnian Tinggi Dijelaskan

Mengapa Kelengkapan Segel Wajah Vakum Ideal untuk Aplikasi Semikonduktor Kemurnian Tinggi

Masroor Malik, Manajer Pasar Semikonduktor, Swagelok

Mengingat pengejaran industri semikonduktor tanpa henti terhadap node proses yang lebih kecil dan lebih kecil yang diperlukan untuk menghasilkan chip yang lebih kuat, menjaga kebersihan proses menjadi semakin menantang. Untuk memenuhi kebutuhan yang terus berubah ini, pabrikan harus menciptakan lingkungan produksi dengan presisi dan kebersihan tanpa kompromi, dan OEM harus mengembangkan peralatan yang terus meningkat untuk memenuhi kebutuhan tersebut.

Dalam aplikasi sistem fluida ultrahigh-purity (UHP) yang paling menuntut—misalnya gas inert atau khusus—fitting koneksi merupakan pertimbangan penting untuk OEM alat. Meskipun sistem UHP sering dilas untuk meminimalkan kemungkinan kebocoran, sambungan tertentu harus dibuat ulang secara berkala untuk pemeliharaan atau penggantian. Tetapi karena sifat korosif dari beberapa cairan proses modern dan kondisi operasi, opsi pemasangan tradisional dengan segel cincin-O elastomer mungkin tidak cocok untuk servis yang andal karena ketidakcocokan material. Sementara itu, kebocoran-tightness adalah yang paling penting. Kebocoran dapat berbahaya, dapat mencemari lingkungan UHP, dan dapat merugikan produsen secara signifikan dalam kehilangan pendapatan dan biaya pemeliharaan.

Dalam aplikasi ini, alat kelengkapan segel wajah vakum dapat mewakili solusi potensial. Dibandingkan dengan alat kelengkapan tradisional, teknologi ini memberikan keandalan segel logam-ke-logam, menawarkan kinerja anti bocor dengan desain tekanan vakum-ke-positif. Fitting segel wajah vakum juga dapat membantu meningkatkan kebersihan secara keseluruhan dengan meminimalkan area jebakan dan dapat meningkatkan efisiensi produksi dan pemeliharaan dengan proses pemasangannya yang sederhana.

Kinerja Segel Tanpa Kompromi

Fitting segel wajah vakum pertama kali dikembangkan untuk digunakan dalam sistem vakum ultra-tinggi pada tahun 1960-an, yang sangat penting untuk penelitian ilmiah yang inovatif untuk industri energi nuklir. Saat ini, kemampuannya untuk mempertahankan segel anti bocor untuk cairan yang sangat beracun, korosif, dan mudah terbakar telah menjadikannya ideal untuk beberapa aplikasi paling populer dalam produksi semikonduktor.

Pemasangan segel wajah vakum menggunakan dua manik-manik yang sangat halus untuk mengubah bentuk paking logam selama pemasangan mur jantan dan betina untuk mencapai tingkat kinerja yang begitu tinggi. Segel terjadi pada paking di "wajah" manik, yang memberi nama pemasangannya. Karena segel terbentuk ketika manik-manik menembus paking, bahan paking harus selalu lebih lembut dari manik-manik. Deformasi ini memungkinkan manik-manik untuk mempertahankan catnya, yang sangat penting untuk menyegel kinerja. Yang penting, manik-manik yang dipoles harus dilindungi setiap kali alat kelengkapan dibongkar. Dalam kondisi operasi reguler, seal sepenuhnya tersapu oleh gas yang mengalir melalui fitting, sehingga mudah dibersihkan dan ideal untuk sistem di mana volume terperangkap dan ruang mati harus dihindari.

Kemampuan fitting seal muka vakum untuk mempertahankan seal anti bocor membuatnya ideal untuk beberapa aplikasi terpenting dalam produksi semikonduktor.

Selain menciptakan segel yang andal, alat kelengkapan segel wajah vakum dirancang untuk menghilangkan area yang berpotensi menjebak kontaminan jika dibandingkan dengan alat kelengkapan tabung tradisional. Karena proses UHP semikonduktor mengandung gas yang pada akhirnya akan mengalir ke hilir dan terpapar ke wafer di ruang proses, setiap kesempatan untuk memastikan kebersihan dan kemurnian sangat berharga. Alat kelengkapan segel wajah vakum menawarkan jenis kebersihan luar biasa yang diminta oleh lingkungan produksi semikonduktor. Beberapa pemasok mungkin menawarkan peningkatan tambahan; baja tahan karat kelas lebih tinggi dengan konsentrasi nikel dan kromium yang lebih tinggi dapat lebih meningkatkan ketahanan terhadap korosi, dan perawatan permukaan akhir seperti elektropolishing meninggalkan lapisan pasif untuk meningkatkan kebersihan.

Pemasangan dan Pemeliharaan yang Efisien

Prosedur pemeliharaan dan pemeliharaan sistem UHP harus diselesaikan dengan cepat dan dengan gangguan minimal terhadap pengoperasian fasilitas, karena di dunia fabrikasi semikonduktor, waktu adalah uang.

Karena mereka dapat dengan mudah dibongkar dan dibuat ulang, alat kelengkapan segel muka vakum menawarkan efisiensi dan manfaat pemeliharaan dalam aplikasi UHP di mana titik make-or-break diperlukan. Instalasi sederhana dan dapat dilakukan dengan alat umum. Pertama, sambungan disekrup hingga jari kencang. Kemudian, mur jantan dipegang dengan stabil sementara mur betina dimajukan 1/8 putaran (45 °) melewati jari dengan kunci inggris (atau 1/4 putaran 90 ° jika menggunakan paking tembaga). Jika diperlukan remake, teknisi harus melepas gasket bekas dan menggantinya dengan yang lain, lalu ikuti petunjuk tata rias asli. Proses sederhana ini dapat menciptakan efisiensi selama perakitan sistem awal dan kapan pun pemeliharaan diperlukan, membantu pengguna kembali ke produksi dengan lebih cepat.

Tonton Cara Memasang Pemasangan Segel Wajah Vakum

Fitting segel muka vakum merupakan pilihan ideal dalam sistem UHP di mana keandalan dan kemudahan perawatan sangat penting. Jika Anda memutuskan untuk menentukannya untuk sistem Anda, penting juga untuk bekerja dengan pemasok yang tepat.

Swagelok memiliki warisan inovasi dalam sistem fluida untuk proses aplikasi semikonduktor yang berawal dari masa-masa awal Lembah Silikon. VCR kami ^® fitting seal muka gasket logam dirancang khusus untuk mengatasi tantangan unik yang dihadapi dalam penanganan dan distribusi gas UHP yang mengalir melalui fasilitas fabrikator ke alat manufaktur chip OEM.

Kami memahami tantangan sehari-hari yang dihadapi dalam lingkungan produksi semikonduktor—dan kami senang berbagi pengetahuan dengan pelanggan kami. Kami menawarkan kursus pelatihan komprehensif tentang alat kelengkapan VCR kami, fitur desainnya, dan di mana mereka dapat digunakan secara paling efektif. Peserta juga dapat mempelajari apa yang diperlukan untuk memasang setiap jenis pemasangan secara efektif dan cara memecahkan masalah potensial.

Tertarik untuk mempelajari lebih lanjut tentang bagaimana solusi segel wajah dan peluang pelatihan VCR kami? Spesialis kami siap membantu.