ISMI menawarkan perangkat lunak untuk pelacakan kinerja keandalan peralatan
International SEMATECH Manufacturing Initiative (ISMI) telah merilis kalkulator keandalan, ketersediaan, dan perawatannya (RAMCalc), aplikasi berbasis Web yang menangkap dan menghitung metrik RAM, pada tingkat peralatan, modul, dan wafer, untuk pelaporan yang sesuai dengan SEMI E10. RAMCalc ISMI memungkinkan teknisi peralatan, industri, dan pemeliharaan untuk menghitung metrik RAM seperti waktu rata-rata antara kegagalan, waktu rata-rata untuk perbaikan, waktu rata-rata off line, dan ketersediaan alat cluster multi-jalur satu jalur dan kompleks.
RAMCalc jalur tunggal dasar, yang tersedia untuk umum secara gratis, menghitung kinerja ruang tunggal atau peralatan manufaktur non-cluster. Selain kalkulator jalur tunggal, versi multi-jalur RAMCalc memungkinkan pelacakan peralatan alat cluster multi-jalur yang kompleks.
“Pengembangan solusi pengumpulan data yang kuat untuk pengujian demonstrasi peralatan sangat penting,” kata Lorn Christal, manajer proyek ISMI. “Peran ISMI dalam uji demonstrasi peralatan adalah untuk memberikan metrik kinerja yang akurat yang diformulasikan dari mekanisme pengumpulan data standar.”
Algoritma yang digunakan dalam RAMCalc dapat dimuat secara independen pada alat yang luar biasa untuk secara otomatis menghasilkan metrik RAM yang konsisten dengan SEMI E10. Menurut Jo Beekman, manajer proyek bersama, “RAMCalc fleksibel. Saat ini menghasilkan metrik yang konsisten dengan SEMI E10, tetapi menggunakan kumpulan status yang berbeda, ini dapat disesuaikan dengan metrik lain seperti yang terkait dengan produktivitas peralatan, atau dapat digunakan untuk menghasilkan metrik untuk status yang belum ditentukan.”
SEMI E10 adalah standar industri yang terkenal untuk mengukur kinerja keandalan peralatan dari peralatan manufaktur semikonduktor. SEMI E10 menetapkan dasar umum untuk komunikasi antara pengguna dan pemasok peralatan semikonduktor dengan menyediakan standar untuk mengukur kinerja RAM peralatan tersebut di lingkungan manufaktur. Pemungutan suara untuk merevisi Standar SEMI E10 diharapkan akhir tahun ini. Pemungutan suara akan mencoba untuk memformalkan perhitungan metrik RAM untuk peralatan alat cluster multi-jalur. RAMCalc ISMI dirancang agar sesuai dengan surat suara yang muncul.
Kode sumber RAMCalc tersedia melalui Collaborative Application Development Environment (CADe) ISMI. CADe adalah program berbagi kode “sumber komunitas” yang tersedia gratis bagi anggota ISMI, dan atas dasar quid pro quo untuk perusahaan non-anggota.
ISMI akan memberikan pengenalan tentang penggunaan RAMCalc untuk melacak atau membandingkan kinerja peralatan dalam situasi yang melibatkan tes maraton dan lingkungan produksi volume tinggi di Simposium ISMI pada 1 November 2010. Kursus ini akan menyoroti konsep baru:rangkaian proses yang dimaksudkan, cluster jalur tunggal alat dan alat cluster multi-jalur, dan menunjukkan bagaimana RAMCalc dapat digunakan dalam setiap situasi ini.
Aplikasi RAMCalc dasar tersedia di situs web publik ISMI di http://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm. Untuk informasi lebih lanjut, hubungi Johannes Beekman, [email protected], atau Lorn Christal, [email protected].
Tentang ISMI
ISMI adalah aliansi global produsen semikonduktor utama dunia, yang didedikasikan untuk mengurangi biaya per wafer dan akhirnya biaya per cetakan, melalui program kerjasama yang berfokus pada efektivitas manufaktur. ISMI adalah anak perusahaan yang dimiliki sepenuhnya oleh SEMATECH, www.sematech.org.
